1测试工装
1.1气路工装
气路工装如图1.1所示。
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图1.1 气路工装 讯享网
气路工装中的压力计为绝压传感器NPC-1220-050A-3-L，前置放大电路的放大倍数为100，放大后的电压信号由万用表测量每100mv代表1PSI（下文中的零点即大气压值）。
流量计为质量流量计HAFBLF050CAAX5，当气流为0时传感器输出2.5V左右（下面的测试中会记录其零点）。传感器输出每变化100mv代表气流变化了2sccm，比如若流量计零点为2.4V当流量计读数为2.8V时说明此刻流量为8sccm。
气路中将毛细管浸泡在水箱中的目的是，之前实验时发现若毛细管暴露在空气中并将整个工装同处室温下，即使压力计读数不变流量计读数依然有很大且没有规律的跳动。怀疑造成这种现象的原因是实验室中的不同温度的气流影响了毛细管，所以在保持实验室平均室温度不变的情况下将毛细管浸泡在水箱中并关闭门窗。增加这个措施后，流量计读数非常稳定。
气路中增加冷却室的原因是，之前实验时发现当给EPC升温后发现压力计的读数往上漂而流量计的读数往下漂。说明气体经过EPC时被加热并且被加热的气体对毛细管的特性造成了影响，因此增加了冷却室来保护毛细管。
EPC-三通-冷却室之间的连接管均为内径0.9mm的不锈钢管，该管的内径很粗因此可以认为气流从EPC出口到达毛细管前压力损耗很小。
1.2电气工装
此次实验一共测试了4个方案，分别为模拟式-Parker、数字式-0.1mm德国阀、模拟式-0.2mm德国阀和模拟式-3010。
由于模拟式-Parker、模拟式-3010使用的是表压传感器而数字式-0.1mm德国阀、模拟式-0.2mm德国阀使用的是绝压传感器因此需要3种电气工装。
对于数字式-0.1mm德国阀来说，由于采用modbus总线设置EPC目标出口压力所以该方案的电气工装为一个modbus主机。
对于模拟式-0.2mm德国阀来说，需要模拟量来设置EPC目标出口压力。为了使该模拟信号稳定可靠，工装使用了图1.2.1所示的电路。
讯享网 图1.2.1 DC2V信号发生电路
对于模拟式-3010和模拟式-Parker来说，同样需要模拟量来设置EPC目标出口压力。为了使该模拟信号稳定可靠，工装使用了图1.2.2所示的电路。
图1.2.2 DC0.58V信号发生电路 2毛细管两端压力和流量的关系
使整套装置处于室温下并使用数字式EPC输出不同的压力，同时记录质量流量计的读数来获取二者的映射关系图像。图中数据所涉及到的单位见1.1章节中所述。
讯享网 图 2.1 毛细管压力流量映射图
3测试数据
3.1模拟-Parker
3.2数字式-0.1mm德国阀
3.3模拟式-0.2mm德国阀
3.4模拟式-3010
4数据分析
通过第2章可以看出毛细管两端的压力在4PSI-10PSI范围内时流量和压力是呈一定的线性关系的。
从第3章的测试中可以看出当加热EPC时EPC出口处的压力和流过毛细管的流量往同一方向漂移，没有出现之前压力往上飘流量却往下漂的现象，说明冷却室起到了保护毛细管的作用。
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