干法刻蚀若干问题
文章目录
- 干法刻蚀若干问题
-
- 掩模损失和硬掩模
- 侧壁沉积物的控制
- 负载效应
- 天线效应
- 举例：
-
- 1. 多晶硅栅的刻蚀
- 2. TSV的刻蚀
微纳加工技术_湿法腐蚀与干法刻蚀_干法刻蚀若干问题
微纳加工技术_湿法腐蚀与干法刻蚀_干法刻蚀若干问题干法刻蚀若干问题 文章目录 干法刻蚀若干问题 掩模损失和硬掩模 侧壁沉积物的控制 负载效应 天线效应 举例 1 多晶硅栅的刻蚀 2
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