半导体工艺介绍

半导体工艺介绍文章目录 1 晶圆制造 2 晶圆涂膜 保护晶圆表面的氧化工艺 3 在晶圆上绘制电路的光刻工艺 4 半导体电路图形的完成 刻蚀工艺 5 沉积 amp 离子注入工艺使半导体具有电特性 6 连接电路的金属布线工艺 7

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文章目录

  • 1. 晶圆制造
  • 2. 晶圆涂膜(保护晶圆表面的氧化工艺)
  • 3. 在晶圆上绘制电路的光刻工艺
  • 4. 半导体电路图形的完成-“刻蚀工艺”
  • 5. 沉积&离子注入工艺使半导体具有电特性
  • 6. 连接电路的金属布线工艺
  • 7. EDS工艺
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